Labor für Angewandte Vakuumtechnik

Lehre und Forschung

  • Dünnschichttechnik (PVD, insbes. Aufdampfen)
  • Rasterelektronenmikroskopie
  • Erzeugung und Beschleunigung von Ionen

Im Vordergrund stehen physikalisch-technologische Grundlagen zur Erzeugung von Hochvakuum und dessen Anwendungen. Ergänzt wird dieses durch die stetige Weiterentwicklung der entsprechenden Anlagensysteme.

Ausstattung

  • Bedampfungsanlagen (Widerstands- und Elektronenstrahlverdampfer)
  • Rasterelektronenmikroskop
  • Eigenbau: Klein-/Lehr-Zyklotron für Wasserstoff-Ionen

Einsatzgebiete

  • Praktika in den Studiengängen Automobiltechnologie und Maschinenbau
  • Projekt- und Abschlussarbeiten
  • Schülerforschungszentrum Oberfranken