Labor für Dünnschichttechnik | Schwerpunkt: PVD

Laborleitung

Prof. Dr. Martin Prechtl - Raum 2-239 - T. (09561) 317-174

Mitarbeiter (Teilzeit)

Jürgen Dorn - Raum 2-U29 - T. (09561) 317-188

Rainer Ehrlicher - Raum 3-007c - T. (09561) 317-453

Laboranlagen

Im Labor für Dünnschichttechnik (Raum 3-U20) stehen derzeit drei Elektronenstrahl-Aufdampfanlagen zur Verfügung:

  • Balzers EB Evaporator BAK 550 - im Aufbau
  • Temescal FC-1800 - im Aufbau
  • Balzers ES-Aufdampfanlage EVU 110

Folgende Abbildung erklärt schematisch das technische Prinzip der Materialverdampfung der beiden Anlagen:

Aufdampfen

Zusätzlich verfügt das Labor über:

  • Rasterelektronenmikroskop ISI DS-130 mit WinDISS
  • Präzisions-/Analysewaage Kern ABS 120-4
  • Schichtdickenmessgerät Sauter TE 1250-0.1 FN mit ATC-01
  • Ultraschall-Reinigungsgerät EMAG Emmi 12HC

Praktikum WT2P [Oberflächentechnik]

  • Kinetische Gastheorie
  • Vakuumpumpstand
  • Beschichtungsquellen
  • Anlagensysteme
  • Prozess "Cu auf Glas"
  • Beurteilung Haftung
  • Schichtdicke (Ex-Situ)
 
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