Labor für Angewandte Vakuumtechnik
Lehre und Forschung
- Dünnschichttechnik (PVD, insbes. Aufdampfen)
- Rasterelektronenmikroskopie
- Erzeugung und Beschleunigung von Ionen
Im Vordergrund stehen physikalisch-technologische Grundlagen zur Erzeugung von Hochvakuum und dessen Anwendungen. Ergänzt wird dieses durch die stetige Weiterentwicklung der entsprechenden Anlagensysteme.
Ausstattung
- Bedampfungsanlagen (Widerstands- und Elektronenstrahlverdampfer)
- Rasterelektronenmikroskop
- Eigenbau: Klein-/Lehr-Zyklotron für Wasserstoff-Ionen
Einsatzgebiete
- Praktika in den Studiengängen Automobiltechnologie und Maschinenbau
- Projekt- und Abschlussarbeiten
- Schülerforschungszentrum Oberfranken
